




2 aoi工作原理
smt中应用aoi技术的形式多种多样,云阳在线自动光学检测仪,但其基本原理是相同的(如图1所示),即用光学手段获取
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自动光学检测用于检查导体电路图形(蚀刻后)的:
将抗蚀膜层退除后,在线自动光学检测仪供应商,检查导体铜电路图形zui广泛的是使用aoi.在这方面的应用是非常普遍的,要获得图像的清晰度的提高,完全决定于过滤器的适当选择,使铜导体表面呈现出不同的变换。zui多的情况,aoi系统检查蚀刻后的导线宽度,这就很容易涉及到多层板内层的导体表面形态和导线边壁的形态的类似的显现,这种形态决定于蚀刻的工艺或微蚀刻的工艺特性。---是经过电镀的导体线路的经过蚀刻后形态。
六.自动光学检测用于检查微孔
孔金属化前激光钻孔后,或金属化孔后微孔是可以检查的。孔金属化后经过aoi检查,所获取的信息证实孔内镀层覆盖的完整性,而不是金属与焊盘的结合状态。如果首道工序要求进行蚀刻,激光钻孔前进行铜导体进行敷形掩膜,于是在钻孔前需要对敷形掩膜附加检查步骤。检查钻孔后的环氧钻污,就是根据图形暗(非反射)环形的工艺特性采用反射的模式进行检查。反射的中心目标是带有铜的焊盘,即微孔的底部。而墨暗的凹处是介质材料本身的边壁而不是金属化镀层,俯视到是外层发光的范围内表面是铜。
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